本发明提供一种短流程柔性高效微米级精密合金箔材热拉矫装置，属于热拉矫装置技术领域。包括开卷机、导向辊、纠偏传感器、焊接平台、1#号张力辊组、输送辊、热拉伸炉、冷却箱、张力传感器、压附辊、2#号张力辊组、拉矫机、3#号张力辊组以及收卷机，诸多张力辊、输送辊、导向辊放置在热拉伸炉、冷却箱及拉矫机两侧连接处，连接处设置有张力传感器和纠偏传感器。本发明通过设置导向机构，在针对小安装孔的金属箔带卷料进行安装于四个所述顶紧板上时，金属箔带材卷料通过外部起吊设备进行安装，且可通过四个安装骨架上均设的导向板，能够对金属箔带材卷料的中部安装孔进行导向，避免金属箔带卷料与四个导向板的前端之间发生剐蹭。