技术领域
[0001] 本发明涉及一种差动电容传感器的极板结构，尤其涉及一种复合结构的差动电容传感器定极板及其制作方法。
相关背景技术
[0002] 现有倾斜仪多数采用高精度电容位移传感器测量摆体相对仪器框架的位移变化；而电容位移传感器的测量精度和稳定性与极板面积、形状、表面粗糙度以及电容极板间距的变化密切相关。由整块金属制成的极板极难得到既要有较小的边缘效应、又要有较小的温度膨胀系数和还要具有较小的应力变形系数的结构。
具体实施方式
[0011] 下面结合附图和实施例详细说明。
[0012] 一、定极板1、总体
如图1，定极板由基板1、电容镀层2、屏蔽镀层3和导电斜面4组成；
在基板1的正面设置有电容镀层2，在基板1的背面设置有屏蔽镀层3，在基板1和电容镀层2的左端面设置有导电斜面4。
[0013] 2、功能部件1）基板1
基板1是一种热膨胀系数和应力变形系数小的绝缘长方体，如有机玻璃长方体。
[0014] 2）电容镀层2电容镀层2是一种导电性和延展性均优异的厚度均匀、极薄的金属镀层镜面。
[0015] 3）屏蔽镀层3屏蔽镀层3是一种导电性和延展性均优异的厚度均匀、极薄的金属镀层镜面。
[0016] 4）导电斜面4导电斜面4是一种导电性和延展性均优异的厚度均匀、极薄的金属镀层镜面；
导电斜面4和基板1的正面成45º角。
[0017] 使用导电胶将外界导线粘合在导电斜面4上。
